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K475i设备进设备的电源总共路电（）
A.4 B.5 C.6 D.7
答案
K475I设备In源压力是多少？（）
A.250 B.475 C.700 D.900
答案
K475I设备有几个设备状态指示灯？（）
A.1 B.2 C.3 D.4
答案
K475I设备abort程序后转为shuttdown（）
答案
K475I设备In源水浴槽温度是多少？（）
A.10℃ B.15℃ C.20℃ D.25℃
答案
K475I设备有多少个水浴槽？（）
A.4 B.5 C.6 D.7
答案
K475I设备反应室压力是多少Torr？（）
A.10 B.15 C.20 D.25
答案
K475I有几个加热电源？（）
A.1 B.2 C.3 D.4
答案
K475I设备Ga1源压力是多少？（）
A.475 B.900 C.250 D.700
答案
K475I设备Hotidle时反应室流什么气体？（）
A.N2 B.H2
答案
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