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材料蒸发时,充氧的主要目的有哪些?()
多选题
材料蒸发时,充氧的主要目的有哪些?()
A. 补充材料失去的氧原子,使材料氧化更充分,降低膜层吸收
B. 使每次镀膜时,真空室内的真空状态相接近
C. 使蒸发更稳定
D. 使控制更精确
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材料蒸发时,充氧的主要目的有哪些?()
A.补充材料失去的氧原子,使材料氧化更充分,降低膜层吸收 B.使每次镀膜时,真空室内的真空状态相接近 C.使蒸发更稳定 D.使控制更精确
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