（）是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代毫微米加工（纳米加工）技术的基础。

微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。 超声加工、电子束加工、激光加工都是特种机械加工方法。 常用的精密加工方法精细镗孔、（）和（）。 模具制造中应用最广的特种加工方法是（） 特种加工与传统加工方法有哪些区别和特点？ 加工精度高于()μm，加工表面粗糙度值小于Ra()μm的加工方法称为超精密加工。 常用的特种加工方法有（）等 常用的特种加工方法有哪些？ 常用的特种加工方法有（）等 孔的精密加工方法有精细镗、（）、研磨、滚压等 中国大学MOOC: 下列哪种加工方法属于特种加工技术： 巴戟天的加工方法是巴戟天的加工方法是（） 能够在淬硬材料上加工φ3小孔的特种加工方法有（） 采用机加工方法修复的精密偶件最终需要进行（）。 在企业不具有大型精密导轨加工机床的条件下，人工是唯一的加工床身导轨的方法（） ()加工方法是电火花加工。 用镗刀镗孔是孔的镗削加工方法中最主要的加工方法，可以加工各种零件上不同尺寸的孔，可以进行粗加工，也可进行精加工，特别适于单件、小批生产。 精密加工是指的加工技术（） 批量不大且直径较小的高精密孔，通常采用（）加工方法。 冲压加工虽然是一种较先进的加工方法，但对不同的零件并非是最经济的方法。