衡量真空泵工作性能的两个主要参数是（）

双工位RH共用一套真空泵系统。两个处理工位通过（）与真空泵系统相连接。 影响冷拉的两个主要参数是（） 真空泵主要参数中，抽气量是指在一定温度下，单位时间内从设备内抽走（）的气体量。 真空泵在不同使用条件下，强调的性能参数是不同的（） 衡量放大器性能的几个主要参数和指标是（） 影响材料导热系数的两个主要参数是（）。 按真空泵的工作原理真空泵基本上可以分为和两种类型（） 目前DRAM的主要参数有两个_和（） 绘制轴测图的两个主要参数是（）和（）。 检测真空泵的真空性能，应检测（）。 ATO开门侧报文主要包括__和__两个主要参数 滑片式真空泵要定期检查（）与水泵连接的管路连接是否有松动或漏气，以免影响真空泵工作性能 选择水泵要根据两个主要参数，即（）和（）。 真空泵扫仓系统主要设备包括（）、扫仓管路、真空罐、真空泵。 真空泵的性能可根据空负荷下真空泵所能抽下的最低真空度来判断。（） 旋转真空泵分为液环式真空泵，油封式真空泵，干式真空泵和（） 带干干燥设备所用的真空泵机组，包括（）真空泵、（）真空泵和（）真空泵 真空泵按其（）可分为容积式真空泵，射流真空泵和其他类型真空泵 真空泵的工作水采用（），真空泵在启动时是（）真空的，正常运行时是（）真空的。 真空泵的工作水采用（），真空泵在启动时是（）真空的，正常运行时是（）真空的