干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。

等离子体的概念是什么？ 钎焊按热源区分则有（）等离子、辉光放电钎焊等。 钎焊按热源区分则有（）、等离子、辉光放电钎焊等。 等离子体科学都涵盖了那些分支？ 简述高频电感耦合等离子体（ICP）的优点 ICP光谱仪的电感耦合等离子体是处于电离状态氩气的集合体，等离子体是物质的第4种状态（） 离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。 等离子体技术处理VOCs的原理是什么 试样的气溶胶在等离子体的焰心区 等离子体的空间现象中哪些互为逆过程？ 等离子体技术处理VOCs的原理是什么 等离子体电视机目前多采用子场分离的技术来实现灰度显示。（） 电感耦合等离子体发射光谱仪是以电感耦合等离子体为光源，基于原子吸收光谱法而进行元素分析的一种常用的分析仪器 电感耦合等离子体焰炬自下而上温度逐渐升高。 简述等离子体发射光谱法的分析原理。 下列对于等离子体物理的说法中错误的是____。 电感耦合等离子体光源主要由__、__、__等部分组成 等离子弧焊接是利用（）产生的高温等离子弧来熔化金属的焊接方法。 等离子弧焊接是利用产生的高温等离子弧来融化金属的焊接方法（） 等离子弧焊接是利用等离子焊枪所产生的()来熔化金属的焊接方法。