坐标测量机使用光栅、磁栅、感应同步器和激光作为检测元件（）

台式卧式铣床圆光栅或圆感应同步器检测分度定位机构可实现定位（） 直线感应同步尺和长光栅属于（）的位移测量元件。 台式卧式铣镗床圆光栅或圆感应同步器检测分度定位机构可实现定位（） 感应同步器可用于检测（） 感应同步器为（）检测装置 感应同步器的作用是检测（） 补偿文件是使用激光干涉仪检测三坐标测量机的误差后生成的文件（） 感应同步器可以检测机床运动部件的（） 直线式感应同步器由作相对平行移动的 _________和_________组成。 感应同步器是测量时用的传感器（） 感应同步器主要用于对位移的检测。 感应同步器是一种电磁感应式的高精度位移检测元件，它有（）两种。 用光栅位置传感器测量机床位移，若光栅栅距为0.01mm，莫尔条纹移动数为100个，若不采用细分技术则机床位移量为()。 用光栅位置传感器测量机床位移，若光栅栅距为0.01mm，莫尔条纹移动数为1000个，若不采用细分技术则机床位移量为()。 栅的测量原理是根据光的_________原理形成莫尔条纹，其测量位移量后输出 _________，而感应同步器是依据_________原理，测量位移后输出_________. 用光栅位置传感器测量机床位移，若光栅栅距为0.01mm，莫尔条纹移动数为1000个，若不采用细分技术则机床位移量为。161（） 直线式感应同步器用于测量（） 感应同步器是测量时所用的一种传感器（） 感应同步器的优点是（） 感应同步器是一种应用电磁感应原理制造的高精度检测元件，有直线和圆盘式两种，分别用作检测直线位移和转角（）