中国大学MOOC: 外延生长工艺流程是（）。①硅片清洁处理 ②氯化氢气相抛光 ③系统的清洁处理 ④降温取片 ⑤外延生长
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中国大学MOOC: 外延生长工艺流程是（）。①硅片清洁处理 ②氯化氢气相抛光 ③系统的清洁处理 ④降温取片 ⑤外延生长
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外延生长工艺流程是（）。①硅片清洁处理 ②氯化氢气相抛光 ③系统的清洁处理 ④降温取片 ⑤外延生长
A.①②③④⑤ B.①②③⑤④ C.③①②⑤④ D.③①②④⑤
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