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下面关于集中CVD方法描述正确的是()
A. 等离子体增强化学气相淀积(PECVD)是目前最主要的化学气相淀积系统,低温淀积是其最主要优点
B. 低压化学气相淀积系统(LPCVD)淀积的某些薄膜,在均匀性和台阶覆盖等方面比APCVD系统的要好,而且污染也少
C. 做CVD淀积钨时,采用六氟化钨WF6作为气体源,六氟化钨能u2029与衬底窗口处的硅反应,而不与二氧化硅、氮化硅反应,u2029所以钨可以选择性地沉积在硅接触窗口中
D. LPCVD不能淀积二氧化硅薄膜
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A.等离子体增强化学气相淀积(PECVD)是目前最主要的化学气相淀积系统,低温淀积是其最主要优点 B.低压化学气相淀积系统(LPCVD)淀积的某些薄膜,在均匀性和台阶覆盖等方面比APCVD系统的要好,而且污染也少 C.做CVD淀积钨时,采用六氟化钨WF6作为气体源,六氟化钨能u2029与衬底窗口处的硅反应,而不与二氧化硅、氮化硅反应,u2029所以钨可以选择性地沉积在硅接触窗口中 D.LPCVD不能淀积二氧化硅薄膜
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