数控机床位置精度的检查必须使用激光干涉仪（）

在现今的数控机床上已大量运用光栅尺作为全反馈定位系统。因此，机床的定位精度就完全可以依靠光栅尺来保证，不需再用激光干涉仪来测量了（） 激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度） 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 位置精度是数控机床特有的机床精度指标。 用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪两部分（） 用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和()3部分。 激光干涉仪是利用干涉原理和激光的（）进行测量的。 数控机床位置检测装置中_______属于旋转型检测装置。 激光干涉仪的测量长度为（）。 激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位。 数控机床的位置精度主要指标有（）。 数控机床的位置精度主要指标有（） 激光干涉仪的最大测量长度为（）。 激光干涉仪的最大测量长度为（） 激光干涉仪最高工作速度是（） 工具激光干涉仪有两种（） 雷尼绍ＭＬ10型激光干涉仪是机床检定的一种高精度仪器，它精度高，在0℃～40℃下可达到（） 使用半闭环系统的数控机床，其位置精度主要取决于（） 使用半闭环系统的数控机床，其位置精度主要取决于（） （）双频激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位