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当热氧化的最初阶段,()为限制反应速率的主要原因。
单选题
当热氧化的最初阶段,()为限制反应速率的主要原因。
A. 温度
B. 硅-二氧化硅界面处的化学反应
C. 氧的扩散速率
D. 压力
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