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在铜互连中,为什么要用铜扩散阻挡层?阻挡层分成哪几种,分别起什么作用?
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在铜互连中,为什么要用铜扩散阻挡层?阻挡层分成哪几种,分别起什么作用?
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在铜互连中,为什么要用铜扩散阻挡层?阻挡层分成哪几种,分别起什么作用?
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