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在VLSI工艺中,常用的前烘方法是()。
单选题
在VLSI工艺中,常用的前烘方法是()。
A. 热空气对流法
B. 真空热平板传导法
C. 红外线辐射法
D. 射频感应加热法
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在VLSI工艺中,常用的前烘方法是()。
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