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为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。
多选题
为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。
A. 低电阻率
B. 易与p或n型硅形成欧姆接触
C. 可与硅或二氧化硅反应
D. 易于光刻
E. 便于进行键合
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为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求,金属材料应该满足()。
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