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在半导体工艺中,淀积的薄膜层应满足的参数包含有()。
多选题
在半导体工艺中,淀积的薄膜层应满足的参数包含有()。
A. 均匀性
B. 表面平整度
C. 自由应力
D. 纯净度
E. 电容
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在半导体工艺中,淀积的薄膜层应满足的参数包含有()。
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