Si3N4薄膜在集成电路中的应用主要有：⑴ 钝化膜 ⑵ 选择氧化 ⑶电容介质 由于氮化硅氧化速率极低，因此被用作（）的掩蔽膜

双极型集成电路和单极型集成电路，都是集成电路（） 简述RTP在集成电路制造中的常见应用。 氮氯化硅（Si3N4）是一种新型的耐高温耐磨材料,工业上有广泛用途,它属于（） 玩具中常用的集成电路包括常用数字逻辑电路、时基集成电路、音乐集成电路、（）电路、无线遥控集成电路等。 玩具中常用的集成电路包括常用数字逻辑电路、时基集成电路、音乐集成电路、（）电路、无线遥控集成电路等 线性集成电路属于（）集成电路。 集成电路按其功能可分为：模拟集成电路和集成电路 氮化硅陶瓷是（）晶系的晶体，以[Si3N4]为结构单元，具有极强的共价键性。 以下所列集成电路中，属于数字集成电路的有（　　）。 以下所列集成电路中，属于数字集成电路的是________。 集成电路的主要威胁（） 功率集成电路属于模拟集成电路。() 集成电路的3个特性：（）、（）、（）。 集成电路的3个特性（）、（）、（） 集成电路按功能分，可以分成模拟集成电路、数字集成电路、接口电路和（）。 按处理信号的类别集成电路分为（）集成电路和（）集成电路两类。 集成电路按处理信号的类别有（）集成电路和（）集成电路两大类。 按处理信号的类别集成电路分为（）集成电路和（）集成电路两类 CMOS集成电路是MOS集成电路的简称 电流源电路在集成电路中的主要作用是和