硅谐振式传感器是怎样工作的？

按传感器工作原理分类，其中气电式传感器可分为、应变式（） 位移传感器根据为霍尔式位移传感器和光电式位移传感器（） 回采工作面应安装（）传感器、（）传感器、（）传感器、（）传感器、（）传感器、（）传感器。 压电式传感器是属于()型传感器。 按传感器工作原理分类，其中电参量式传感器可分为（） 常见的角位移传感器有绕线电位器式角位移传感器、电感式角位移传感器、电容式角位移传感器和编码盘式角位移传感器（） 中国大学MOOC: 谐振式压力传感器是根据谐振敏感结构的（ ）变化来检测承受压力变化的。 磁电式传感器是半导体传感器，是基于（）的一类传感器。 依据传感器的输出信号形式，传感器可分为模拟式传感器，数字式传感器（） 掘进工作面应安装（）传感器、（）传感器、（）传感器、（）开停传感器、（）传感器。 谐振式微传感器是利用某种谐振子的振动力随被测量的变化而变化来进行测量的一种传感器（） 下列不是电感式传感器传感器的是（） 压电式加速度传感器是（）传感器 谐振传感器可以测量压力、频率等参量（ ） 光电式车速传感器与光电式凸轮轴位置传感器的工作原理不相同（） 差动变压器式传感器属于电容式传感器。 按可将传感器分为模拟式传感器和数字式传感器两类（） 按传感器工作原理分类，其中热电式传感器可分为热电偶（） 电容式传感器属于能量______传感器 磁电式传感器属于能量______型传感器