AIXTRON和VEECO设备反应室加热系统分别为和（）
A. 感应加热、电阻式加热
B. 电阻式加热、感应加热
C. 电阻式加热、电阻式加热
D. 感应加热、感应加热
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AIXTRON和VEECO设备反应室加热系统分别为和（）
A.感应加热、电阻式加热 B.电阻式加热、感应加热 C.电阻式加热、电阻式加热 D.感应加热、感应加热
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答案
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答案
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答案
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答案
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