激光干涉仪可用于等几何精度的检测（）

激光干涉仪可以进行高精度的直线度、垂直度和平面度等的测量（） 在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。 激光干涉仪是利用干涉原理和激光的（）进行测量的。 激光干涉仪的测量长度为（）。 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ （）激光干涉仪虽定位精度高，但因测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。 工具激光干涉仪有两种（） 激光干涉仪的最大测量长度为（）。 激光干涉仪最高工作速度是（） 激光干涉仪的最大测量长度为（） 激光干涉仪不属于自准直光学量仪 单频激光干涉仪的测量原理是（） 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） ML10型激光干涉仪可以实现其（） 激光干涉仪是利用迈克尔逊干涉原理进行测量的（） 双频激光干涉仪的最小分辨率为（）m 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量（） ( )激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量。 补偿文件是使用激光干涉仪检测三坐标测量机的误差后生成的文件（） 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（）