单频激光干涉仪的测量原理是（）

激光干涉仪的最大测量长度为（）。 激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度） 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（） 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ 激光干涉仪最高工作速度是（） 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的()测量。 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长（）m的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量 在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823m的激光为（）基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823m的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量（） 工具激光干涉仪有两种（） 激光干涉仪就是翼龙干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823um的激光为（）基准，通过光的干涉、光电装换、电子计数等来实现长度的精确测量 激光干涉仪不属于自准直光学量仪 激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位。 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） ML10型激光干涉仪可以实现其（） 激光干涉仪可用于等几何精度的检测（） 补偿文件是使用激光干涉仪检测三坐标测量机的误差后生成的文件（） （）双频激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位