光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪

激光干涉仪可用于等几何精度的检测（） 单频激光干涉仪的测量原理是（） 激光干涉仪定位装置的特点是：定位精度高。可小于__μm、且不需刻线尺，所以测量长度不受限制 激光干涉仪是利用迈克尔逊干涉原理进行测量的（） 激光干涉仪可以进行高精度的直线度、垂直度和平面度等的测量（） 数控机床位置精度的检查必须使用激光干涉仪（） 光干涉仪虽定位精度高，但因测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（） ( )激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量。 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量（） 雷尼绍ＭＬ10型激光干涉仪是机床检定的一种高精度仪器，它精度高，在0℃～40℃下可达到（） 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ 用激光干涉仪检测线性轴的位置精度允差，字母A代表双向定位精度（） 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量的仪器 在现今的数控机床上已大量运用光栅尺作为全反馈定位系统。因此，机床的定位精度就完全可以依靠光栅尺来保证，不需再用激光干涉仪来测量了（） 在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。 工具激光干涉仪有两种（） 激光干涉仪最高工作速度是（） 雷尼绍ＭＬ10型激光干涉仪为机床检定提供了一种高精度仪器，它精度高，测量范围大（线性测长40ｍ，任选80ｍ），测量速度快，为（） 激光干涉仪不属于自准直光学量仪