激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823m的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量（）

单频激光干涉仪的测量原理是（） 用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪两部分（） 用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和()3部分。 激光干涉仪的测量长度为（）。 激光干涉仪的最大测量长度为（）。 激光干涉仪的最大测量长度为（） 激光干涉仪最高工作速度是（） 工具激光干涉仪有两种（） 激光干涉仪不属于自准直光学量仪 激光干涉仪可用于等几何精度的检测（） 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） ML10型激光干涉仪可以实现其（） 激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度） 双频激光干涉仪的最小分辨率为（）m 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（） 激光干涉仪可以进行高精度的直线度、垂直度和平面度等的测量（） 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ 数控机床位置精度的检查必须使用激光干涉仪（） 在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。