对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。
A. 入射离子的能量
B. 入射离子的质量
C. 入射离子的原子序数
D. 靶原子的质量
E. 注入离子的总剂量
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对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。
A.入射离子的能量 B.入射离子的质量 C.入射离子的原子序数 D.靶原子的质量 E.注入离子的总剂量
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离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。
A.能量 B.剂量
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离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。
A.能量 B.剂量
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离子注入表面改性
答案
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答案
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答案
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答案
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答案
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