离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么？
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离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么？
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离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。
A.能量 B.剂量
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离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。
A.能量 B.剂量
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智育的意义，主要任务和内容分别是什么？
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离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。
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答案
离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
A.砷化氢 B.二硼化氢 C.四氟化硅 D.三氟化磷 E.五氟化磷
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离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
A.砷化氢 B.二硼化氢 C.三氟化硼 D.硅烷 E.氧气
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