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刻蚀工艺有哪两种类型?简单描述各类刻蚀工艺。
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刻蚀工艺有哪两种类型?简单描述各类刻蚀工艺。
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主观题
刻蚀工艺有哪两种类型?简单描述各类刻蚀工艺。
答案
单选题
无刻蚀镀铁是为了()而出现的镀铁新工艺。Ⅰ.提高镀铁质量;Ⅱ.发展镀铁工艺;Ⅲ.克服刻蚀处理的缺点;Ⅳ.提高镀铁效率;Ⅴ.简化工艺。
A.Ⅰ+Ⅲ+Ⅴ B.Ⅰ+Ⅳ+Ⅴ C.Ⅱ+Ⅲ+Ⅴ D.Ⅱ+Ⅳ+Ⅴ
答案
多选题
通常情况下,我们改变工艺条件使刻蚀进行中()的刻蚀速率尽量低。
A.光刻胶 B.衬底 C.表面硅层 D.扩散区 E.源漏区
答案
主观题
分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程?
答案
主观题
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答案
主观题
定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率?
答案
单选题
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A.刻蚀 B.氧化 C.淀积 D.光刻
答案
主观题
试分析背沟道刻蚀型的5次光刻中过孔的工艺难点。
答案
主观题
试分析背沟道刻蚀型的5次光刻中过孔的工艺难点
答案
主观题
干法刻蚀的目的是什么?例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么?
答案
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