根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？
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根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？
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干法刻蚀的目的是什么？例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么？
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干法刻蚀的目的是什么？例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么
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定义刻蚀选择比。干法刻蚀的选择比是高还是低？高选择比意味着什么？
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简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
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干法刻蚀有高的还是低的选择比？
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简述干法刻蚀的物理作用和化学作用
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中国大学MOOC: 含硅薄膜的干法刻蚀工作气体主要是（）。
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中国大学MOOC: 下面选项中（）关于干法刻蚀的说法是错误的。
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在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。
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