光刻工艺中，脱水烘焙的最初温度是（）

光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。 典型的光刻工艺主要有哪几步？简述各步骤的作用。 超大规模集成电路需要光刻工艺具备的要求有（）。 光刻工艺是利用感光胶感光后抗腐蚀的特性在半导体晶片表面的掩膜层上的工艺（） 中国大学MOOC: 光刻工艺中的分辨率是指能精确转移到晶片表面抗蚀剂上图案的最小尺寸。 试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案。 试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案 简述激光雕刻工艺中腐蚀的原理。 雕刻工艺中，哪种工具常用于精细雕刻？（ ） 谈谈水晶雕刻工艺步骤？ 简述激光雕刻工艺工程。 烘焙膨化过程中需要控制的工艺参数是（） 光刻的主要工艺流程按照操作顺序是（）。 雕刻工艺可以在哪些材料上进行？（ ） 沸点溶剂脱水烘焙磺化法目前多采用（） 简述5次光刻的工艺流程。 简述4次光刻的工艺流程。 简述4次光刻的工艺流程 简述5次光刻的工艺流程 高含盐脱水工艺要求一段.二段脱水温度均为 ( )。