（）是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。
A. LPCVD
B. PECVD
C. CVD
D. PVD
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（）是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。
A.LPCVD B.PECVD C.CVD D.PVD
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