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中国大学MOOC: 含硅薄膜的干法刻蚀工作气体主要是()。
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中国大学MOOC: 含硅薄膜的干法刻蚀工作气体主要是()。
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中国大学MOOC: 含硅薄膜的干法刻蚀工作气体主要是()。
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主观题
中国大学MOOC: 下面选项中()关于干法刻蚀的说法是错误的。
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干法刻蚀的目的是什么?例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么?
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干法刻蚀的目的是什么?例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么
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根据原理分类,干法刻蚀分成几种?各有什么特点?
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简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
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主观题
简述干法刻蚀的物理作用和化学作用
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主观题
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判断题
中国大学MOOC: 负载效应是指因刻蚀面积变化而导致的刻蚀均匀性的变化,刻蚀速率随着被刻蚀薄膜暴露的面积的增加而下降。?
答案
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由于干法刻蚀中是同时对晶片上的光刻胶及裸露出来的薄膜进行刻蚀的,所以其()就比以化学反应的方式进行刻蚀的湿法还来得差。
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中国大学MOOC:"筛管主要是";
在干法刻蚀的终点检测方法中,光学放射频谱分析法最常见,简述其工作原理和优缺点。
中国大学MOOC: 问题行为主要是指
中国大学MOOC: 农业的动力主要是( )。
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