膜厚数据超标时，应该怎么做（）
A. 机台异常：调整机台参数重新测试
B. PICT膜厚异常：确认制程是否完整；重新投入新PICT进行确认
C. Test key膜厚异常：加测是否OK？OK则续流，NG则加测PICT
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膜厚数据超标时，应该怎么做（）
A.机台异常：调整机台参数重新测试 B.PICT膜厚异常：确认制程是否完整；重新投入新PICT进行确认 C.Test key膜厚异常：加测是否OK？OK则续流，NG则加测PICT
答案
各向异性or配向角数据超标时，应该怎么做（）
A.反馈至工程师进行处理 B.机台异常：调整机台参数重新测试 C.PICT 超标异常：确认制程是否完整；重新投入新PICT进行确认 D.Test key超标异常：加测是否OK？OK则续流，NG则加测PICT
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