激光干涉仪最高工作速度是（）

激光干涉仪是利用迈克尔逊干涉原理进行测量的（） 在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。 ML10型激光干涉仪可以实现其（） 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） 激光干涉仪可用于等几何精度的检测（） 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（） 激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度） 双频激光干涉仪的最小分辨率为（）m ( )激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量。 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量（） 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量的仪器 数控机床位置精度的检查必须使用激光干涉仪（） 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ 激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位。 补偿文件是使用激光干涉仪检测三坐标测量机的误差后生成的文件（） 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的()测量。 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长（）m的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量 （）双频激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位 用激光干涉仪检测线性轴的位置精度允差，字母A代表双向定位精度（）