以下选项中不是硅片清洗的作用的是?()
A. 在等离子边缘腐蚀中,如果有油污、水汽、灰尘和其他杂质存在,会影响器件的质量,清洗后质量大大提高
B. 在硅片外延工艺中,杂质的存在会影响硅片的电阻率不稳定
C. 在太阳能材料制备过程中,在硅表面涂一层具有良好性能的增反膜,有害的杂质离子进入二氧化硅层,会降低绝缘性能,清洗后绝缘性能会更好
D. 硅片中杂质离子会影响P-N结的性能,引起P-N结的击穿电压降低和表面漏电,影响P-N结的性能
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