激光干涉仪：激光是平面波，其光束发散角极小，几乎相当于一束平行光，激光的单色性好，（），所以用激光干涉法可进行长距离的测量。

激光干涉仪最高工作速度是（） 激光束的模式为单模时，其光束的发散角小（） 单频激光干涉仪的测量原理是（） 激光干涉仪不属于自准直光学量仪 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量（） ( )激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量。 激光干涉仪可用于等几何精度的检测（） 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） 激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度） 双频激光干涉仪的最小分辨率为（）m 激光干涉仪是利用迈克尔逊干涉原理进行测量的（） 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量的仪器 激光干涉仪可以进行高精度的直线度、垂直度和平面度等的测量（） 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（） 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ 数控机床位置精度的检查必须使用激光干涉仪（） 激光扫平仪是指利用激光束绕轴旋转扫出平面的仪器，其特点有(）。 在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。 激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的()测量。