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在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
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在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
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主观题
在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?
答案
主观题
例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
答案
主观题
解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么?
答案
主观题
最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶?
答案
判断题
如果光刻胶在曝光前可溶于某种溶液而经过曝光后不可溶,则这种光刻胶为正胶。
A.对 B.错
答案
主观题
解释正性光刻和负性光刻的区别?为什么正胶是普遍使用的光刻胶?最常用的正胶是指哪些胶?
答案
主观题
负性和正性光刻胶有什么区别和特点?
答案
单选题
在深紫外曝光中,需要使用()光刻胶。
A.DQN B.CA C.ARC D.PMMA
答案
多选题
光刻胶的光学稳定通过()来完成的。
A.红外线辐射 B.X射线照射 C.加热 D.紫外光辐射 E.电子束扫描
答案
多选题
光刻胶主要由()等不同材料混合而成的。
A.树脂 B.感光剂 C.HMDS D.溶剂 E.PMMA
答案
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在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。
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利用正光刻胶曝光、显影、蚀刻的过程中,掩膜版上透光图案对应的基底部位将被蚀刻掉()
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